產品詳情
  • 產品名稱:卷繞式高真空蒸發鍍膜儀

  • 產品型號:CY-EVP180G-1S-JR
  • 產品廠商:泰諾
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簡單介紹:
卷繞式蒸發鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長,大多數金屬和某些有機材料薄膜,如金屬、半導體、氧化物等
詳情介紹:

本儀器是一種高真空蒸發鍍膜儀,鎢絲籃(或鎢舟)用作蒸發源,并且樣品臺和蒸發源之間的距離是可調的。 該儀器可以穩定地蒸發金屬和某些有機物。 采用高真空不銹鋼腔體,密封性能好,真空性能好。 該腔室配有觀察窗,因此可以看到涂層過程。 采用分子泵系統的**真空10E-4Pa,可有效提高涂層質量,并能滿足大多數蒸發涂層實驗所需的真空環境

高真空熱蒸發鍍膜儀用途:

卷繞式蒸發鍍膜儀可用于不同種類的材料的薄膜生長,大多數金屬和某些有機材料薄膜,如金屬、半導體、氧化物等。

 卷繞式蒸發鍍膜儀技術參數:

供電電壓

單相,AC220V, 50Hz

內壁處理

電解拋光

腔體材料

304不銹鋼

腔體尺寸

臥式Φ600mm×500mm

觀察窗口

前置φ100mm含遮光片

開啟方式

前開門式

收放卷

Φ200mmx300mm

速度

60m/min(可調)

張緊

可調

部件數量

1套金屬蒸發源,帶獨立擋板

電極電壓

10V

送絲速度

3m/min

蒸發電流

功率2KW,*大電流為160A,調節精度為1A

 

蒸發器

鎢舟,1

前級泵

雙極旋片泵,抽速1.1L/s

渦輪分子泵

抽速:600L/s;

額定轉速:24000rpm;

啟動時間:4.5min

冷卻方式:水冷+空冷

進氣接口:ISO150

出氣接口:KF40

真空度:5.0*10-4Pa (5.0*10-6mbar)

抽真空到5.0×10-3 Pa (5.0*10-5mbar)的時間少于40分鐘

復合真空計

測量范圍 105Pa~10-5Pa

測量精度

0.1?

測量速度

100ms-1s/

可設置測量范圍

500000?(鋁)

標準傳感器晶體

6MHz

適用晶體尺寸

Φ14mm (標配10)

空壓機

作用于電控氣動閥

水冷機

冷卻水溫度:37

流速:10L/min

功率:0.1KW

冷卻功率:50W/

水箱容量:9L

控制系統

PLC自動控制

操作界面:觸控屏+操作面板

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