產品詳情
  • 產品名稱:三源高真空蒸發鍍膜儀

  • 產品型號:CY-1800X-TE3-SS
  • 產品廠商:泰諾
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簡單介紹:
三源高真空蒸發鍍膜儀應用領域: 金屬和介電膜 薄膜傳感器的制造 光學元件 納米與微電子 太陽能電池
詳情介紹:

三源高真空蒸發鍍膜儀,設備采用前開門式真空腔體設計,腔體空間大,可拓展性強,能夠滿足多樣式大尺寸樣品的蒸發鍍膜。腔體內配有上置樣品臺,可根據用戶樣品樣式選取夾持或卡位式樣品安裝部件。樣品臺可旋轉、加熱,所有操作均通過觸控屏集成控制。設備的真空泵組為兩級式真空系統,由雙極旋片真空泵和渦輪分子泵組成,可為真空鍍膜試驗提供清潔無油的高真空的環境;真空系統內含有完善的氣動閥系統,用戶可通過觸控屏進行一鍵式操作實現抽取真空、不停機取放樣、完全停機等操作。

  

三源高真空蒸發鍍膜儀詳情介紹:

 本設備的蒸發源共三組,采取鎢舟蒸發源,水冷式銅電極,可*大支持260A的大電流,加熱溫度*高可達1800℃,可實現多種難熔金屬的蒸鍍,三組獨立熱蒸發源,不會導致鍍材互相污染。本設備采用一體化設計,腔體和電控部分左右分置,實現了水電分離,有力的保證了用戶的**。電控部分采用觸控屏和按鈕面板相結合的設計,真空系統、樣品臺等輔助功能通過觸控屏一鍵操作,通電蒸發、膜厚控制等通過面板獨立操作,在盡可能方便用戶的同時規避了誤操作的可能。該設備設計完善性能優越,是實驗室高精度蒸發鍍膜試驗的必備之選。

 三源高真空蒸發鍍膜儀應用領域:

金屬和介電膜

薄膜傳感器的制造

光學元件

納米與微電子

太陽能電池

 三源高真空蒸發鍍膜儀技術參數:

三源高真空蒸發鍍膜儀

樣品臺

尺寸

*大支持φ150mm樣品

功能

可旋轉,*高加熱500

蒸發源

數量

鎢舟x3

電源

每個蒸發源配一組獨立電源;三個蒸發源共三組獨立電源

真空腔體

腔體尺寸

φ300x400mm

觀察窗口

前置φ100mm

腔體材料

304不銹鋼

開啟方式

前開門式

膜厚控制(選配)

晶振式膜厚測量儀,可選多通道膜厚控制儀

真空系統

前級泵

雙極旋片泵

抽氣接口

KF16

次級泵

渦輪分子泵

抽氣接口

CF160

真空測量

電阻+電離

復合真空規

排氣速率

機械泵1.1L/s

分子泵 600L/s

極限真空

1.0E-5Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

旋片泵:1.1L/S

控制系統

PLC自動控制

操作界面:觸控屏+操作面板

(觸摸屏可控制沉積過程和快速數據輸入;用戶友好 PLC 軟件系統,可以通過網絡更新)

 

其他

供電電壓

AC380V,50Hz

整機尺寸

1000mm X 800mm X 1500mm

整機功率

5kW

整機重量

350kg

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