產品詳情
  • 產品名稱:桌面型石英腔體單靶磁控鍍膜儀

  • 產品型號:CY-MSP180G-DC
  • 產品廠商:泰諾
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簡單介紹:
本設備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計,將設備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點
詳情介紹:

本設備為桌面型單靶磁控鍍膜儀。設備經過小型化設計,將設備外形限制在了桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,能夠用于濺射金屬材料,具有速度快溫升低等特點

單靶磁控鍍膜儀技術參數:

桌面型單靶磁控鍍膜儀

樣品臺

尺寸

φ100mm

加熱

*高500

轉速

0-20可調

磁控濺射靶

數量

2” x1

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 215mm

觀察窗口

全向透明

腔體材料

高純石英

開啟方式

上蓋拆卸式

真空系統

機械泵

旋片泵

分子泵

渦輪分子泵

真空測量

電阻規+電離規

抽氣接口

KF16

抽氣接口

KF40

排氣接口

KF16

極限真空

1.0E-4Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

機械泵1.1L/s  分子泵600L/s

電源配置

數量

直流電源 x1

*大輸出功率

直流電源150W

 

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機功率

2kW

整機尺寸

550mm X 350mm X400mm



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