產品詳情
  • 產品名稱:換位自轉等離子鍍膜儀

  • 產品型號:CY-PSP180G-1TA-SWR
  • 產品廠商:泰諾
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簡單介紹:
本型號等離子濺射儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗,本設備配備換位自轉式樣品臺,用戶可以在觸控屏上實現一鍵換位,樣品臺可在兩個靶位自由切換,本設備體積小巧造型美觀功能強大,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇
詳情介紹:
本型號等離子濺射儀,采用二級濺射方式,廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝,鍍膜過程中無高溫,不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統,全部觸摸屏操作,便于學習使用。本設備配備換位自轉式樣品臺,用戶可以在觸控屏上實現一鍵換位,樣品臺可在兩個靶位自由切換,到位后樣品臺還可進行自轉,以增強鍍膜的均勻性。另外客戶可以選配晶振式膜厚儀對膜厚進行監測,以提高鍍膜的精準度。

本設備體積小巧造型美觀功能強大,是實驗室鍍膜試驗的*佳選擇。

離子濺射儀技術參數:


 

項目

明細

產品型號

CY-PSP180G-1TA-SWRswitch換位rotate旋轉)

樣品臺

直徑φ60mm, 可在兩個靶位間自動切換

直流濺射頭

2”x1

腔體材質

高純石英

腔體尺寸

φ180mm X  150mm

真空泵

旋片泵

極限真空

1.0E-1Pa

真空接口

KF16真空法蘭

進氣口

φ6.35卡套接頭

供電電源

AC 220V 50Hz

整機功率

1.5KW/2KW(旋轉加熱)


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