產品詳情
  • 產品名稱:桌面型行星式單靶磁控鍍膜儀

  • 產品型號:CY-MSP180G-PST
  • 產品廠商:泰諾
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簡單介紹:
本設備為桌面型行星式單靶磁控鍍膜儀,腔體下半部為不銹鋼機構,上部為高純石英,兼顧了真空性能和容納復雜樣品臺的功能型。設備外形為桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,可用于金屬及其他導電材料的濺射。設備真空系統采用渦輪分子泵組,抽氣速度快,極限真空度高,真空性能優異。本設備結構緊湊功能完善便于使用,非常適合用于各類鍍膜試驗
詳情介紹:

本設備為桌面型行星式單靶磁控鍍膜儀,腔體下半部為不銹鋼機構,上部為高純石英,兼顧了真空性能和容納復雜樣品臺的功能型。設備外形為桌面級別,大大減少了安裝場地需求。設備配有一個直流電源,可用于金屬及其他導電材料的濺射。設備真空系統采用渦輪分子泵組,抽氣速度快,極限真空度高,真空性能優異。本設備結構緊湊功能完善便于使用,非常適合用于各類鍍膜試驗

行星式單靶磁控鍍膜儀技術參數:

CY-MSP180G-PSTPlanetary sample table)行星式單靶磁控鍍膜儀

樣品臺

尺寸

φ50mm x4

轉速

公轉轉速0-10rpm可調, 公轉自轉轉速比1:5

磁控濺射靶

數量

2” x1 

 

 

真空腔體

腔體尺寸

φ180mm X 100mm

觀察窗口

全向可視

腔體材料

高純石英

開啟方式

頂蓋拆卸式

下法蘭

含有行星式傳動機構,焊接真空接口及進氣閥

真空系統

機械泵

雙級旋片泵

抽氣接口

KF16

分子泵

渦輪分子泵

抽氣接口

KF40

真空測量

電阻規+電離規

排氣接口

KF40

極限真空

1.0E-3Pa

供電電源

AC 220V 50/60Hz

抽氣速率

前級泵 1.1L/s 分子泵:60L/S

電源配置

數量

直流電源 x1

*大輸出功率

直流電源300W

 

其他

供電電壓

AC220V,50Hz

整機尺寸

500mm X 320mm X6200mm

整機功率

2kW

 

 


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