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  • 產品名稱：多弧離子鍍膜儀

  • 產品型號：TN-MIOP500S-2TA
  • 產品廠商：泰諾
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簡單介紹：
多弧離子鍍膜儀是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化，在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時將蒸發物或反應物沉積在基片上。本多弧離子鍍膜儀配有兩個多弧靶，和行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率。
詳情介紹：

多弧離子鍍膜儀 TN-MIOP500S-2TA本設備為多弧離子鍍膜設備。多弧離子鍍是利用氣體放電或被蒸發物質部分離化，在氣體離子或被蒸發物質粒子轟擊作用的同時，將蒸發物或反應物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來，不僅能明顯地改進了膜質量，而且還擴大了薄膜的應用范圍。其具有蒸鍍速率快，薄膜附著力強，繞射性好，膜材廣泛等優點。十分適合鍍硬質保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色，且膜層與基板結合牢固，故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜

本設備配有兩個多弧靶，分置于腔體兩側。配合行星式樣品臺可有效的提高鍍膜效率，改善成效果;該鍍膜儀還采用一體化設計，腔體和電控部分左右分置，實現了水電分離，有力的保證了用戶的**。

名稱
多弧離子鍍膜儀
型號
TN-MIOP500S-2TA
特點
  • 離子鍍把輝光放電現象、等離子體技術和真空蒸發三者有機結合起來，不僅能明顯地改進了膜質量，而且還擴大了薄膜的應用范圍。
  • 十分適合鍍硬質保護膜如TiN等。同時由于其通過控制氣氛可以改變膜層顏色，且膜層與基板結合牢固，故也可用于制作多種顏色的裝飾性膜。
  • 一體化設計，腔體和電控部分左右分置，實現了水電分離
技術參數
  • 樣品臺 行星式樣品臺，外徑305mm，四周六工位，工件可懸掛于各工位的支撐棒上，外周轉速1~20rpm可調
  • 多弧離子靶：φ84mm X 2 
  • 真空腔體： 304不銹鋼 ，φ300mm X 400mm， 觀察窗口前置φ100mm含遮光片，前開門式
  • 膜厚控制 晶振式膜厚測量儀，可選多通道膜厚控制儀
  • 真空系統
  1.    前級泵 雙極旋片泵 抽氣接口 KF16； 次級泵 渦輪分子泵 抽氣接口 CF160
  2.    真空測量： 電阻+電離復合真空規
  3.    排氣速率： 機械泵1.1L/s， 分子泵 600L/s， 旋片泵：1.1L/S 
  4.    極限真空： 1.0E-5Pa
  5.    供電電源： AC 220V 50/60Hz
  • 控制系統 自動控制：觸控屏+操作面板
規格
電壓 AC380V,50Hz ；尺寸 1000mm X 800mm X 1500mm；功率 5kW 整機重量 350kg


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